품명

12-inch Cold-Chuck 

용도

반도체 웨이퍼 다이싱 공정에서 픽업시 불량발생

→ -10℃이상 냉각하여 점착시트의 점착력 줄임으로 수율 개선 

작동전원

DC 48V

소비전력

480W

크기

Φ318×30mm 

방열구조

수냉식

냉각능력

266W

제어범위 

-20℃ ~ 85℃ 

제어정도 

±0.1℃

Uniformity

±1.0℃